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了70nm!”
遠遠超過了IBM所要求的365nm。
王磊很期待看到一群老外驚訝錯愕的眼神。
幾人都不由的相識一笑。
“老板,隻要拿下IBM,我們的市場占有率可以提高到5%!”
見拜爾斯有點飄的樣子,王磊還是忍不住敲打道:
“拜爾斯,雖然我們目前製造出了遠超同行的光刻設備,但遠遠沒有到可以大意的時候,我們要盡早將光源波長提高到157nm!”
光刻機技術的升級,可以簡單的看作光源波長的升級。
通過用更高級的曝光光源,來支撐技術進步到下一代。
為了追求更高的分辨率,光源波長從最初的365nm,到248nm,再到如今pas 5500使用的193nm。
據王磊對光刻機發展進程的了解,想要從248nm進化到193nm並不是最難的一步。
用不了幾年,尼康、佳能、以及美麗國的GCA都會相繼走到這一步。
最困難的還是向157nm的技術升級。
所有的大廠商都被卡在這一步上。
誰先邁出這一步,便會奠定一超多強的格局,徹底成為光刻機行業的霸主。
拜爾斯也沒有預料到王磊的野心會如此的大,剛完成了技術升級,又開始琢磨著下一代光刻機。
“你放心,不管研發中遇到多少困難,我都會全力支持你們的研發!”
說這話的時候,王磊卻將思緒飄到了台積電。
那裏有一位龍裔科學家,堪稱半導體“鬼才”一般的存在。
正是他提出了一種較為大膽的理念——浸沒式!
他創造性的提出用水作為曝光介質,光源波長還是用原來的193nm,但通過水的折射,使進入光阻的波長縮小到134nm。
以前的幹式法中,曝光介質用的是空氣。
它們的區別在於折射率,193 nm光源在空氣中的折射率為1,在水中折射率為1.4。
這也就意味著相同光源條件下,浸沒式光刻機的分辨率可以提高1.4倍。
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